无尘烘箱HSCOL-2D系列

产品名称:无尘烘箱HSCOL-2D系列

产品品牌:humgine

产品型号:HSCOL-2D

产品单位:台

产品分类:洁净烘箱

产品备注:

产品描述:

无尘烘箱特点:

HSCOL-2D系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到佳温度控制精度。无尘洁净烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。无尘烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘烘箱详细资料:

一.特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 10
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 10,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

二.执行与满足标准
1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
2.GB2423.2-1989试验B

三.无尘烘箱用途
无尘洁净烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘洁净烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

四.无尘烘箱技术参数
1.名称及型号:无尘洁净烤箱 HSCOL-2D
2.主要技术指标:
2.1无尘等级:Class 10;
2.2温度范围: 60~ +300℃;
2.3温度均匀度:200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4温度波动度:±0.5℃(空载)
2.5温控精度:±0.1℃;
2.6洁净烤箱搁板为活动形式。(两箱式)
2.7电源:380v , 50Hz,12Kw

3、无尘烘箱体结构:
3.1无尘烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
3.3箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。

4、温控系统
4.1采用日本OMRON E5A型温度控制器,洁净烤箱 控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。;
4.2讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
4.3输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。

5、完善的安全保护措施:
漏电断路器
控制线路保险丝装置
超温防止保护装置
电热过电流保护装置
马达过电流保护
机台异常蜂鸣器警示
逆向防止器
门面安全开关

6、无尘烘箱选购设备:
6.1 可程式温控器
6.2六点温度记录仪
6.3三色指示灯
6.4烘烤架

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